Рынок микроэлектромеханических систем (MEMS) в Австралии По типу продукции (инерциальные датчики (магнитометр, комбинированный датчик, гироскопы, приводы, акселерометры), датчики давления, микрофоны, био-MEMS, микрофлюидные устройства, осцилляторы и другие), По методам производства (объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, микрообработка кремния с высоким соотношением сторон (HAR)),