Размер рынка оборудования для очистки пластин по размеру пластины (≤ 150 мм, 200 мм, 300 мм), по технологии (процесс влажной химической очистки, процесс сухой паровой очистки, процесс водной очистки, процесс очистки сверхкритическими жидкостями криогенными аэрозолями), по оборудованию ( Скрубберы, система распыления одной пластины, криогенные системы с одной пластиной, периодическая очистка погруж