Marché mondial des équipements de nettoyage de plaquettes de semi-conducteurs par mode de fonctionnement (manuel, semi-automatisé, entièrement automatisé), par technologie (nettoyage humide, nettoyage à sec, nettoyage mégasonique, nettoyage par épurateur, nettoyage par pulvérisation), par application (élimination des particules, élimination des films), par utilisateurs finaux (fabrication de semi-