Taille du marché des équipements de nettoyage de plaquettes par taille de plaquette (≤ 150 mm, 200 mm, 300 mm), par technologie (processus de nettoyage chimique humide, processus de nettoyage à sec à la vapeur, processus de nettoyage aqueux, processus de nettoyage par fluide supercritique par aérosols cryogéniques), par équipement ( Épurateurs, système de pulvérisation à plaquette unique, systèmes