Tamaño del mercado de equipos de limpieza de obleas por tamaño de oblea (≤ 150 mm, 200 mm, 300 mm), por tecnología (proceso de limpieza química húmeda, proceso de limpieza en seco con vapor, proceso de limpieza acuosa, proceso de limpieza con fluidos supercríticos en aerosoles criogénicos), por equipo ( Depuradores, sistema de pulverización de oblea única, sistemas criogénicos de oblea única, limp