全球等离子发生器市场规模按类型（化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、应用（集成电路、太阳能电池、电池）、地理范围和预测划分

等离子发生器市场规模及预测

2020 年等离子发生器市场规模价值 19 亿美元，预计到 2028 年将达到 58 亿美元，2021 年至 2028 年的复合年增长率为 16.3%。

等离子发生器可用于多种应用，包括集成电路 (IC) 或太阳能电池、电池、表面清洁和转化，这些都是在预测期内推动等离子发生器市场增长的因素。《全球等离子发生器市场》报告对市场进行了全面评估。该报告对关键细分市场、趋势、驱动因素、限制因素、竞争格局以及在市场中发挥重要作用的因素进行了全面的分析。

全球等离子发生器市场定义

等离子发生器是用于描述 Thierry 等离子表面处理系统的术语。等离子发生器能够产生用于改变表面特性的等离子体。等离子体在等离子发生器内部形成，从而在腔室内产生真空。然后，极少量的气体被引导到腔室中，当其分子被电离时，气体的相态会从气体变为等离子体。在等离子发生器的腔体内，等离子轰击表面，小规模地改变表面。这些等离子工艺通过增强其粘附能力和去除表面上的任何杂质来改变表面。

有不同类型的低压等离子系统或等离子发生器。这些等离子发生器的腔体大小和对变量的控制程度可能有所不同。数字显示器和手动控制设备是两种不同类型的控制系统。除了低压系统外，还有称为大气压系统的等离子发生器。这些等离子发生器也称为等离子笔。不是产生等离子体，而是在喷嘴内创建一个腔体，并通过压缩空气流排出，从而产生等离子束。这些等离子发生器用于小型在线应用，并被纳入自动控制的生产线。

等离子体的产生是通过向气体添加足够的能量来释放电子，使其脱离原子或分子，并允许产生的离子和电子共存。产生这种电离气体和等离子体的一种简单方法是将气体引入两个平行电极之间的空间。一个电极接地，另一个电极由射频发生器供电。电极之间的电容和电感耦合激发气体产生等离子体。用于产生等离子体的射频功率频率为 13.56 MHz，而其他频率包括 40 kHz 和 2.45 GHz。

全球等离子发生器市场概况

由于等离子发生器运行中不可或缺的高压继承，变压器的分析需要考虑非绕组电阻、漏电感、磁化电感、铁损电阻和高压侧绝缘包裹引起的寄生电容。本研究展示了一种简单的方法来测量带有杂散电容的高频高压变压器的等效电路参数，该杂散电容被引入到传统建模中。所提出的建模方案具有精确的测量程序和有效的串联负载谐振转换器设计信息。

等离子放电板设计为串联负载谐振转换器中电路的一部分，并进行了等离子放电板的电路模型。这样，就建立了高压等离子体发生器的总体模型，并进一步确定了相应谐振电路参数的适当选择的设计过程。除了金属晶体中的固态等离子体外，等离子体通常不会自然出现在地球表面。对于实验室实验和技术应用，等离子体必须人工产生。

由于钾、钠、铯等碱金属的原子具有低电离能，因此可以通过直接施加约 3,000 K 的热量从这些原子中产生等离子体。然而，在大多数情况下，在达到任何显著的电离程度之前，需要 10,000 K 左右的温度。在等离子体研究中，测量温度的一个方便单位是电子伏特 (eV)，它是电子在真空中加速通过一伏电势时获得的能量。由于所有物质都在远低于该水平的温度下熔化，因此没有任何容器可以承受形成等离子体所需的外部热量；因此，任何加热都必须由内部提供。

一种技术是向气体施加电场，通过加热等离子体来加速和散射任何自由电子。这种欧姆加热与电炉加热元件中的自由电子加热线圈的方法相同。由于电子在弹性碰撞中的能量损失很小，因此它们可以升到比其他粒子高得多的温度。为了形成等离子体，需要施加足够高的电场，其确切值取决于几何形状和气压。

全球等离子发生器市场：细分分析

全球等离子发生器市场根据类型、应用和地域进行细分。

按类型划分的等离子发生器市场

• 等离子增强化学气相沉积 (PECVD)
• 化学气相沉积 (CVD)
• 物理气相沉积 (PVD)
• 等离子增强原子层沉积 (PEALD)

根据类型，市场细分为等离子增强化学气相沉积 (PECVD)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD) 和等离子增强原子层沉积 (PEALD)。等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 部分以最高的市场份额占据市场主导地位，预计在预测期内将大幅增长并主导全球市场。本节显示每种生产类型、收入、价格和市场份额以及增长率。

等离子发生器市场，按应用

• 集成电路
• 太阳能电池
• 电池
• 其他

根据应用，市场细分为集成电路、太阳能电池、电池和其他。预测期内，集成电路组件在全球市场中占有最高的市场份额，市场增长强劲。该细分市场集中于每个应用的重要应用价值、市场份额和增长估值的地位和机会。

等离子发生器市场，按地区划分

• 北美
• 欧洲
• 亚太地区
• 世界其他地区

根据地理位置，等离子发生器市场分为北美、欧洲、亚太地区和世界其他地区。北美和欧洲地区在全球市场中占据主导地位，市场份额最高，预计在整个预测期内将大幅增长并主导全球等离子发生器市场。

主要参与者

“全球等离子发生器市场”研究报告将提供有价值的见解，重点关注全球市场，包括一些主要参与者，如PAJUNK、Karlstorz、WOLF、Thierry Corporation、GEM、KANG SHENG、ShenDa、KANGER、QIMEI、ELGA、Healthcare、BIOBASE、DIKANG、LAOKEN、ERBE、Sincoheren 和 Johnson & Johnson。

我们的市场分析还包括一个专门针对这些主要参与者的部分，其中我们的分析师将深入了解所有主要参与者的财务报表，以及产品基准测试和 SWOT 分析。竞争格局部分还包括全球上述参与者的关键发展战略、市场份额和市场排名分析。

关键发展

• 2021 年 12 月：Advanced Energy Industries, Inc. 扩大了其等离子发电机系列，增加了 10kW 脉冲直流电源，该电源将电源和控制功能与 Advanced Energy 的 Power Insight 嵌入式过程优化软件相结合。

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